簡要描述：PLUTO-30型等離子清洗機,等離子處理機,等離子去膠機是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡電源在整個過程區(qū)域產生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍，提供給用戶的靈活性。

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