咨詢熱線

        18049905701

        當前位置:首頁  >  產品中心  >    >  等離子刻蝕機  >  ICP等離子刻蝕機

        • ICP等離子刻蝕機

        • ICP等離子刻蝕機

        • ICP等離子刻蝕機

        • ICP等離子刻蝕機

        ICP等離子刻蝕機

        簡要描述:ICP等離子刻蝕機WINETCH是面向科研及企業研發客戶使用需求設計的高性價比ICP等離子體系統。作為一個多功能系統,它通過優化的系統設計與靈活的配置方案,獲得高性能ICP刻蝕工藝。該設備結構緊湊占地面積小,專業的機械設計與優化的自動化操作軟件使該設備操作簡便、安全,且工藝穩定重復性很好。

        • 產品型號:
        • 廠商性質:生產廠家
        • 更新時間:2025-06-11
        • 訪  問  量:1969

        詳細介紹

        品牌PLUTOVAC類別ICP刻蝕
        顏色白色電源220V
          ICP干法刻蝕是一種常見的微納加工技術,其原理是利用高頻電場將氣體離子化,使其形成等離子體,然后將等離子體引入反應室中,利用反應室內的化學反應對材料進行腐蝕或沉積。 在ICP干法刻蝕中,高頻電場的作用是將氣體分子電離,形成電子和離子。離子在電場的作用下加速運動,并與反應室內的氣體分子發生碰撞,進而形成等離子體。等離子體具有高溫、高能量的特性,可以對材料進行高效率的加工。 ICP干法刻蝕的特點是能夠實現高精度、高速度和高均勻度的刻蝕,且對材料的損傷較小,常用于微電子器件制造、光學器件加工等域。但需要注意的是,在使用ICP干法刻蝕時,應選擇合適的氣體、功率和反應室溫度等參數,以避免對材料造成負面影響。
         
          ICP等離子刻蝕機WINETCH是面向科研及企業研發客戶使用需求設計的高性價比ICP等離子體系統。作為一個多功能系統,它通過優化的系統設計與靈活的配置方案,獲得高性能ICP刻蝕工藝。該設備結構緊湊占地面積小,專業的機械設計與優化的自動化操作軟件使該設備操作簡便、安全,且工藝穩定重復性很好。
         
          ICP等離子刻蝕機WINETCH產品特點
         
          ● 4/6/8英寸兼容,單片晶圓真空傳輸系統
         
          ● 低成本高可靠,適合研發及小規模生產
         
          ● 設備結構簡單,外形小
         
          ● 操作簡便、便于自動控制、適合大面積基片刻蝕
         
          ● 優異的刻蝕均勻性,刻蝕速率快
         
          ●滿足半導體標準的配方驅動及管理軟件控制系統
         
          ● 選擇比高、各向異性高、刻蝕損傷小
         
          ● 斷面輪廓可控性高,刻蝕表面平整光滑
         
        638452432639045855904.png

                 ICP等離子刻蝕機技術參數:
         
          晶圓尺寸:4/6/8英寸兼容
         
          適用工藝:等離子體刻蝕
         
          適用材料:SiC、Si、GaN、GaAs、InP、Ploy,etc.
         
          適用領域:化合物半導體,MEMS、功率器件、科研等領域
         
         

        產品咨詢

        留言框

        • 產品:

        • 您的單位:

        • 您的姓名:

        • 聯系電話:

        • 常用郵箱:

        • 省份:

        • 詳細地址:

        • 補充說明:

        • 驗證碼:

          請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
        • 公司地址:上海市康橋東路1369號C棟220
        • 公司郵箱:1399511421@qq.com
        400-1521-605

        銷售熱線

        在線咨詢
        • 微信公眾號

        • 移動端瀏覽

        Copyright © 2025 上海沛沅儀器設備有限公司版權所有   備案號:滬ICP備19029303號-2    sitemap.xml    技術支持:化工儀器網   管理登陸