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等離子去膠機通過等離子體技術實現材料表面光刻膠或有機污染物的去除，其核心功能依賴于多個精密部件的協同工作。真空腔室是其核心區域，為等離子體生成與材料處理提供密閉環境。腔體通常采用耐腐蝕材料(如不銹鋼或石英)制造，內部配備承片臺用于固定樣品。處理過程中，腔室壓力需降至1-100帕斯卡范圍，以降低氣體分子密度，促進電離反應。部分機型采用鉸鏈側開門結構，配備觀察窗，便于操作監控與維護。等離子去膠機的氣體導入系統負責向真空腔室輸送工藝氣體(如氧氣、氬氣或混合氣體)，其關鍵功能包括：氣...
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Pluto30是專為研發而設計的全功能等離子體系統，13.56MHz射頻發生器和自動匹配網絡電源在整個過程區域產生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達7個可調節樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統的應用范圍，提供給用戶良好的靈活性。復旦大學高分子系老師希望用該設備進行等離子體化學反應的實驗，即利用設備產生的等離子體在真空泵和氣體閥門關閉的情況下與真空腔內的物質進行化學反應，然后獲取化學反...
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清華大學調研了眾多等離子表面處理設備，最終選擇了上海沛沅生產的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機。根據客戶的技術要求，提供了可以滿足老師所有技術參數要求的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機，以下為該設備的安裝調試圖。上海沛沅儀器生產的Pluto-T等離子清洗機/等離子處理機是一款桌面式等離子設備，具有性能穩定、性價比高、操作簡便、使用成本極低、易于維護的特點。對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和改性。有效地清除樣品表面的...
2-28
中國科學技術大學（UniversityofScienceａndTechnologyofChina），位于安徽省合肥市，是中國科學院直屬的一所以前沿科學和高新技術為主，兼有醫學、特色管理和人文學科的綜合性全國重點大學，中央直管副部級建制，由中科院、教育部和安徽省三方重點共建；建設高校A類、985工程、211工程，入選珠峰計劃、強基計劃、111計劃、2011計劃、中國科學院知識創新工程、國家建設高水平大學公派研究生項目、全國深化創新創業教育改革示范高校、中國政府獎學金來華留學生接...
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